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        日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發科CME-200E/400半導設備化學氣相沉積設備
        日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備

        • 產品型號:CME-200E/400
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2024-11-25
        • 訪  問  量:335

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備

        日本ULVAC愛發科半導設備化學氣相沉積設備


        單片PE-CVD設備CME-200E/400

        單片式PE-CVD設備CME-200E/400是適合批量生產的PE-CVD設備,適合形成硅基絕緣膜、阻擋膜等。


        特征

        • 27.12MHz高密度等離子工藝

        • SiH 4型:SiO 2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS 型:可提供 SiO 2薄膜

        • 可使用NF 3 +Ar 等離子體清潔腔室

        • 可配備用于有機EL低溫成膜的加熱器

        • 通過托盤傳送支持最大尺寸為□200mm的電路板(CME-200E)(支持CME-400:300×400)

        目的

        • 功率器件

        • LED、LD、高速器件

        • 有機EL

        • 太陽能電池

        • 微機電系統

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