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        日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發科SV-200 SV-4540 SV-6040 大型設備濺射SV-9045
        日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045

        SV系列是立式間歇式濺射裝置。 有磁盤壓模專用的SV-200,以及可處理大量基板的轉盤式。

        • 產品型號:SV-200 SV-4540 SV-6040
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2024-11-25
        • 訪  問  量:446

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045

        日本ULVAC愛發科大型設備濺射SV-9045



        間歇式濺射設備SV系列


        特征

        • SV-4540、6040和9045為轉盤式,具有較大的電路板裝載能力,非常適合中小型或小批量、多品種生產。

        • SV-200 圓盤壓模機 鎳膜沉積專用設備,超緊湊、全自動、高產量。

        目的

        • 在各種基材上沉積電極膜、絕緣膜和介電膜

        規格


        SV-200SV-4540SV-6040SV-9045
        標準排氣系統8"低溫泵12"低溫泵12"低溫泵16"低溫泵
        極限壓力6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa6.7e-5Pa
        車廠方向
        成膜面積均勻性

        Φ200mm±5%L300mm±10%L300mm±10%L400mm±10%
        基材加熱沒有任何250℃250℃250℃
        控制系統自動的自動的自動的自動的

        不包括選項SV-200
        渦輪泵非水冷電極
        油擴散泵APC機制
        多個同時倉庫基材換向機構
        下站反應濺射
        常規陰極
        鐵磁材料陰極
        射頻蝕刻清洗 (SV-4540)
        偏置機構(SV-4540)



























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