HORIBA堀場蒸汽濃度監測儀玉科全新供應

HORIBA堀場蒸汽濃度監測儀玉科全新供應

IR-300

蒸汽濃度監測儀

金屬有機化學氣相沉積（MOCVD）工藝廣泛應用于發光二極管、光學器件和其他組建的制造。通過控制溫度、壓力和載氣流速（鼓泡法），液體和固體化學品被輸送到反應室。IR-300 系列可實時測量和報告化學品濃度，為用戶帶來以下優勢：

• 優化制程控制，生產更多高級器件

• 提高器件成品率并減少廢料

• 提高再現性

• 了解何時需要更換鼓泡器

• 延長 MTTA

• 減少非計劃干預

• 減少高價值的化學品浪費

• 實時監測
  快速響應和出色的重復性允許實時跟蹤蒸汽濃度的變化

• 多重校準曲線功能（可選）
  允許測量多達 3 種化學品或量程的濃度

• 多重顯示功能
  IR-300 設備頂部的多重顯示功能為用戶提供了濃度監測和前驅體供應管線狀態的現場檢查能力

• 通信功能
  通過 DeviceNet™、RS485 和模擬通信連接

• 設計簡單緊湊
  該設備的面對面尺寸為 124 毫米，設計緊湊且不受安裝方向限制，易于集成

高光強和長壽命光源與高速信號處理相結合，使 IR-300 系列能夠對化學品濃度的變化做出更快、更可重復的響應。這些特性通過實時在線濃度測量，讓用戶真正了解實際制程。