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詳細介紹
HORIBA堀場半導體緊湊型汽化系統玉科供應
HORIBA堀場半導體緊湊型汽化系統玉科供應
直接液體注入系統
VC 系列能夠在無載氣的情況下快速汽化純水或其他液體源，組建更緊湊的汽化系統。
HORIBA 可為您提供由 VC 系列和您需要的所有其他組件組成的定制汽化系統：
一種用于流量測量的液體質量流量計
一種用于蒸氣流量測量的高溫質量流量控制器
閥門、過濾器、加熱器等
尺寸緊湊
可安裝在各種位置
暢銷的 TEOS 汽化系統
結合 SEF 或 LF，可實現數字控制
無需特殊鼓泡罐或汽化罐
DeviceNetTM 型產品系列
符合 RoHS 標準
模型 | VC-1420 | ||
生成流量*1（TEOS生成時） | 最大5.0 CCM轉化率（液相轉化率） | ||
支持液體 | 工作，P(OCH3)3，C6F6 | ||
溫度上升 | 最高150℃ | ||
產生的壓力*1 | 減壓 | ||
外部泄漏完整性 | 1.0×10-8帕·立方米/秒 | ||
內部泄漏完整性 | 1.0×10-6帕·立方米/秒 | ||
接觸液體的材質 | 316L 不銹鋼（拋光表面） | ||
內部加熱器容量 | 交流 100V 至 120V 70W(35Wx2) | ||
使用的溫度傳感器 | K型熱電偶（CA） | ||
耐壓性 | 1.0MPa（氣壓） | ||
標準配件 | 液體入口：1/8 英寸 VCR 型外螺紋 氣體出口：1/4 英寸 VCR 型內螺紋 | ||
*1 根據液體的種類而變化。 | |||
*CCM 是表示氣體流速（25°C、101.3 kPa 時 mL/min）的符號。 | |||
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