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        玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監測儀
        簡要描述:

        玉科精品HOBIBA堀場CS-600F光纖式化學濃度監測儀
        玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監測儀

        • 產品型號:CS-600F
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2025-02-12
        • 訪  問  量:178

        詳細介紹

        玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監測儀

        玉科精品HOBIBA堀場光纖式化學濃度監測儀

        光纖式化學濃度監測儀

        CS-600F 系列

        一種基于光纖的化學品濃度監測儀,用于測量半導體制造過程中使用的化學品,如清洗和蝕刻。

        可以測量濕法工藝所必需的高溫化學品。實現快速、穩定和節省空間的解決方案,從而優化化學品管理并提高其精度。

        CS-600F 系列
        測量
        原理
        吸收光譜法
        計算
        原理
        溫度補償型多變量分析


        樣品溶液
        溫度
        20?80°C
        測量周期約 3 秒
        LCD
        顯示屏
        (1) 測量值 (%)
        (2) 濃度警報 (HH/H/L/LL)
        (3) 錯誤代碼 (EXXX)
        (4) 化學溫度 (°C)
        (5) 串/并行通信狀態 (P/S)
        (6) 背景校正失敗次數 (CXXX)
        按鍵輸入(1) 濃度警報設置 (HH/H/L/LL)
        (2) 濃度值偏移
        (3) 背景校正
        (4) 熱水校正
        (5) 隨溫度變化的濃度變化
        并行
        輸入
        輸入電壓為 12 V 至 30 V DC,通過光電耦合器
        絕緣 (1) 并聯濃度警報輸出(開/關)
        (2) 用于測量
        的切換化學溶液(包括背景校正)
        (3) 熱水校正
        并行
        輸出
        晶體管輸出(NPN 集電極開路),通過光電耦合器
        絕緣 通電時的最大電流:5 mA DC(無內部保護電阻)
        斷電時的最大電壓:30 V DC
        (1) 濃度警報(HH/H/L/LL 警報時打開)
        (2) 監控錯誤(錯誤時關閉)
        (3) 測量(測量時打開)
        (4) 測量
        用化學溶液類型 (5) 回波到熱水校正輸入
        (6) 警告(發生時開啟)
        (7) 背景校正狀態 8) 熱水校正狀態
        串行輸入RS-232C
        (1) 要求讀取測量數據
        (2) 選擇要測量
        的化學溶液類型 (3) 熱水校正
        串行
        輸出

        RS-232C
        (1) 實測數據號
        (2) 化學溶液類型
        (3) 濃度值
        (4) 錯誤代碼
        (5) 化學溫度

        模擬
        輸出
        4 mA 至 20 mA
        如果出現監視器錯誤、停止測量或
        選擇了無效的化學范圍,則信號輸出固定為 1.5 mA。負載電阻必須為最大值 500 Ω。
        化學溶液
        溫度輸入
        接線端子入口(端子螺釘 M3)
        鉑電阻溫度傳感器:Pt100
        (三線型,A 級) *不包括溫度傳感器。
        空氣
        (用于作和吹掃)
        連接端口:4 mm 外徑快速接頭、
        壓力:0.2 MPa ±0.02 Mpa
        電源100~230V AC(單相)、50/60Hz
        功耗約 85 VA
        (不包括啟動時的瞬態電流)
        重量(監視器) 約 3.6 kg
        (燈單元) 約 2.8 kg
        (樣品池) 約 1.2 kg
        環境溫度(顯示器、燈單元) 20°C 至 30°C
        (樣品池、光纖) 20°C 至 35°C
        (應避免溫度突然變化,±1°C/1 小時內)
        環境濕度(監視器、燈裝置、樣品池)40% 至 70%(
        應無結露)
        安裝時的傾斜角度(監視器、Lamp 單元)在 ±1° 以內
        光纖長度:5 m,最小彎曲半徑:R 150 mm


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