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詳細介紹
HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器
HOBIBA堀場原廠混合噴射系統液體蒸發器
混合噴射系統液體蒸發器
MV-2000 使用新的龍卷風流法，即使在低溫下也能實現穩定的汽化。這適用于汽化各種液體，甚至是具有挑戰性的源，例如“High-k"，一種易于熱解的液體源。
使用新的旋流法在低溫下穩定蒸發
更高的流速汽化（添加穩定性數據）
可以汽化容易熱解的液體源
| 型 | MV-2000 系列 |
|---|---|
| 液體材料 | 除對不銹鋼有腐蝕性的液體（例如 HCl、HF）外的所有液體 |
| 設定溫度 | 按汽化條件（控制閥 ： 最高 140 °C 汽化器 ： 最高 200 °C） |
| 泄漏完整性 | ≤ 1 × 10-8 Pa·m3 /s （He） |
| 內部泄漏標準 | ≤ 1 × 10-6 Pa·m3 /s （He） |
| 接液部件 | SUS316L 、 PFA |
| 溫度傳感器 | K 型熱電偶 （CA） |
| 耐壓性 | 1MPa（克） |
| 標準接頭 | 液體入口：1/8 VCR 型 外螺紋 載氣入口：1/4 VCR 型 內螺紋 氣體出口：1/2 VCR 型 外螺紋 |
| 工作溫度 | 15 - 50 °C |
| 選擇 | 空氣閥（內漏標準：≤ 1×10-9 Pa·m3 / s（He）） |
產生的流量可能因液體材料、生成量、生成條件等而異
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