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        日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機
        簡要描述:

        日本ULVAC愛發科IH-860PSIC半導體SiC 高溫離子注入機
        日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機

        • 產品型號:IH-860PSIC
        • 廠商性質:代理商
        • 更新時間:2024-11-25
        • 訪  問  量:1025

        詳細介紹

        日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機

        日本ULVAC愛發科半導體SiC 高溫離子注入機


        SiC 高溫離子注入機IH-860PSIC

        這是配備高溫ESC的用于SiC量產的高能離子注入機。



        特征

        • 可自動連續高溫處理注入

        • 可注入高達 350keV 的單價離子和 700keV 的雙電荷離子
          (可選支持高達 430keV 的單價離子和 860keV 的雙電荷離子)

        • 雙端站實現高吞吐量
          (A系統4"高溫電調/B系統3"高溫電調、A系統6"高溫電調/B系統6"常溫電調等,規格可根據客戶需求訂做愿望)

        • 可進行鏈條注射,減輕操作員負擔

        • 緊湊型設計

        • 從原型到批量生產,我們提供廣泛的支持。

        目的

        • SiC用離子注入機

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